A Page Miclaud

Pompes à vide Cobra BC 0100 F sèches à vis

Pour fermer, cliquez ici
Modèle Cobra BC 0100 E

Modèle Cobra BC 0100 E

COBRA BC 0100 E est la nouvelle pompe à vis sèche pour l'évacuation de sas de chargement et d'autres processus exigeants dans la fabrication de cellules photovoltaïques, d'écrans plats et de semi-conducteurs. Bénéficiant d'un refroidissement par eau efficace et de la vitesse de pompage la plus élevée de sa catégorie de performance, cette pompe à vide est idéale pour toutes les applications nécessitant une production de vide efficace, rapide et fiable.

La technologie des pompes à vis COBRA est une technologie sans huile et sans contact, ce qui permet d'évacuer des fluides chargés de particules.

Haute efficacité

La pompe COBRA BC 0100 E est équipée d'un moteur à haute efficacité comportant un mode de veille, ce qui garantit un potentiel d'économie énergétique optimal. La construction compacte de la pompe COBRA BC 0100 E requiert très peu d'encombrement et ses besoins énergétiques extrêmement faibles permettent de maintenir les coûts de fonctionnement au minimum.

Applications

  • Dépôt chimique en phase vapeur au plasma à haute densité (HDP CVD)
  • Traitement thermique rapide (RTP)
  • Dépôt chimique en phase vapeur à pression sub-atmosphérique (SACVD)
  • Dépôt chimique en phase vapeur d'organométalliques (MOCVD)
  • Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)
  • Dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD)
  • Dépôt de couches atomiques (ALD)
  • Sas de chargement de grande capacité

Caractéristiques techniques

La pompe COBRA BC 0100 E est une pompe à vide, double vis, mono-étagée. Les deux rotors à vis qui tournent à l'intérieur du cylindre piègent et compriment le fluide de pompage, qui est transporté vers le refoulement de gaz. Pendant le processus de compression, les rotors à vis ne sont en contact ni entre eux, ni avec le cylindre. Les lubrifiants et autres fluides de fonctionnement dans la chambre de compression sont donc superflus.Les derniers développements dans la conception à vis concernent l'intégration d'un palier à simple face, ce qui réduit sensiblement la consommation d'énergie et évite les températures de gaz élevées pendant la compression. La COBRA BC 0100 E intègre de série un système de refroidissement par eau, ce qui permet une répartition thermique uniforme dans la pompe à vide.

Découvrez la gamme Pompes Cobra


Copyright © 2017  |
  A PAGE MICLAUD  |
  Tous droits réservés  |
   Mentions Légales  |