A Page Miclaud

Pompes à vide Cobra BC 1000-2000 F sèches à vis

Pour fermer, cliquez ici
Modèles Cobra BC 1000 F et Cobra BC 2000 F

Modèles Cobra BC 1000 F et Cobra BC 2000 F

Les générateurs de vide Cobra BC 1000 F et BC 2000 F sont deux pompes à vis sèches de la célèbre série Cobra BC de BUSCH. Leur vitesse de pompage rapide et leur haute capacité d’aspiration en Hydrogène en font des pompes idéales pour tous les processus exigeants dans la fabrication de cellules photovoltaïques, d'écrans plats et de semi-conducteurs. La technologie des pompes à vide COBRA est une technologie sans huile et sans contact, permettant  d'évacuer des fluides poudreux et chargés de particules.

Les modèles COBRA BC 1000 F et BC 2000 F intègrent une pompe Roots, garantissant de meilleures vitesses de pompage et de pressions finales. La pompe primaire et la pompe Roots sont combinées sur un châssis de base compact.

Haute efficacité

Les pompes COBRA BC 1000 F et BC 2000 F sont équipées d'un moteur à haute efficacité incluant un mode veille, ce qui garantit un potentiel d'économie énergétique optimal.

Leur construction compacte requiert très peu d'espace et leurs besoins énergétiques extrêmement faibles permettent des coûts de fonctionnement minimum. La longue durée de vie utile des pompes à vide COBRA BC réduit davantage encore le coût total. L’intégration de ces pompes à vide sèches dans une installation existante est simple et rapide à réaliser.

Applications

  • Dépôt chimique en phase vapeur au plasma à haute densité (HDP CVD)
  • Traitement thermique rapide (RTP)
  • Dépôt chimique en phase vapeur à pression sub-atmosphérique (SACVD)
  • Dépôt chimique en phase vapeur d'organométalliques (MOCVD)
  • Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)
  • Dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD)
  • Dépôt de couches atomiques (ALD)
  • Sas de chargement de grande capacité

Caractéristiques techniques

Les modèles COBRA BC 1000 F et BC 2000 F sont des pompes à vide, double vis, mono-étagée. Les deux rotors à vis qui tournent à l'intérieur du cylindre piègent et compriment le fluide de pompage, qui est transporté vers le refoulement. Pendant le processus de compression, les vis ne sont en contact ni entre elles, ni avec le cylindre. Les lubrifiants et autres fluides de fonctionnement dans la chambre de compression ne sont donc pas nécessaires.

Les derniers développements dans la conception des vis réduisent considérablement la consommation énergétique et empêchent des températures de gaz élevées pendant la compression. La technologie à vis moderne facilite également une vitesse de pompage extrêmement rapide pour l’aspiration d’hydrogène. Une pompe à vide Roots est utilisée comme pompe auxiliaire en combinaison avec la pompe à vide à vis pour former une unité compacte.

Très efficace, le refroidissement indirect par eau assure une répartition thermique uniforme dans la pompe à vide et garantit la stabilité thermique de la COBRA BC pendant tout le processus.

Découvrez la gamme Pompes Cobra


Copyright © 2017  |
  A PAGE MICLAUD  |
  Tous droits réservés  |
   Mentions Légales  |