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Pompes à vide Cobra DS 0600 D sèches à vis

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Modèle Cobra DS 0600 D

Modèle Cobra DS 0600 D

Le modèle Cobra DS 0600 D est une pompe à vis sèche de la série COBRA DS qui a largement fait ses preuves et offre des solutions de pointe pour les processus complexes et les sas de chargement de grande capacité pour les applications les plus exigeantes dans l'industrie solaire, la fabrication d'écrans plats et les semi-conducteurs. Cette pompe à vide allie une incroyable vitesse de pompage à un débit en hydrogène supérieur, ainsi que d’excellentes capacités de traitement des poudres résultant de sa conception à vis unique.

Dotée d'un moteur ultra performant et d’une fonction de veille de pointe, la pompe COBRA DS 0600 D dégage un fort potentiel d’économie énergétique. Grâce à sa conception optimisée pour un encombrement réduit et à son fort potentiel d’économies énergétiques,  cette pompe à vide de la série COBRA garantit un faible coût total de propriété. 

Applications

  • Dépôt chimique en phase vapeur au plasma à haute densité (HDP-CVD)
  • Traitement thermique rapide (RTP)
  • Dépôt chimique en phase vapeur à pression sub-atmosphérique (SACVD)
  • Dépôt chimique en phase vapeur d'organométalliques (MOCVD)
  • Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)
  • Dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD)
  • Dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD)
  • Sas de chargement de grande capacité

Caractéristiques techniques

La pompe à vis COBRA DS 0600 D utilise deux rotors à vis tournant en sens opposé. Le fluide à pomper est ainsi piégé entre le cylindre et les chambres à vis et transporté vers le refoulement de gaz. Le mécanisme à vis réduit au minimum les zones de glissement à l'intérieur de la pompe et offre d'excellentes capacités de traitement des poudres et de redémarrage.

La conception à vis sophistiquée se traduit par une consommation d'énergie électrique inférieure à celle des conceptions à vis classiques. Elle a également pour effet une moindre charge thermique du gaz comprimé.Les pompes de la série DS utilisent un procédé de refroidissement indirect générant des températures uniformes dans l'ensemble du corps de pompe, ce qui élimine les zones froides et assure la stabilité thermique de la chemise d'eau. La conception à vis évoluée à haute compression permet des capacités de pompage d'hydrogène exceptionnelles.

Toutes les pompes à vide de la série COBRA DS utilisent des pompes auxiliaires à vitesse variable à haute performance pour optimiser le fonctionnement du système.

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